RBF-570復合變送器
簡介
RBF-570設計用于1×10-9 mbar…1000 mbar壓力范圍內氣體的真空測量,該量規由兩個獨立的測量系統組成（Pirani和冷陰極系統（基于反向磁控管原理））。冷陰極測量電路由Pirani電路控制，在壓力P<1×10-3mbar時激活。若冷陰極測量電路未被點燃，則輸出皮拉尼的測量值作為測量信號。在整個測量范圍內，測量信號作為壓力的對數輸出。
The RBF-570 is designed for vacuum measurement of gases in the pressure range 1 x 10-9 mbar...1000 mbar and consists of two independent measuring systems (Pirani and cold cathode system (based on the reverse magnetron principle)).The cold cathode measurement circuit is controlled by the Pirani circuit and is activated at pressures P < 1 x 10-3 mbar. If the cold cathode measurement circuit is not fired, the measured value of the Pirani is output as a measurement signal. The measurement signal is output as the logarithm of the pressure over the entire measurement range.
優點
- 雙獨立測量系統，組成最佳測量配置
Dual independent measuring systems for optimal measurement configurations
- 從 0x 10-9mbar 至大氣氣壓（3.8 x 10-10 Torr 至大氣氣壓）的極其寬泛的測量范圍
Extremely wide measuring range from 1.0x 10-9 mbar to atmospheric pressure (3.8 x 10-10 Torr to atmospheric pressure)
- 在1E-8 … 1E2 mbar 5% 工藝壓力范圍內為表現出優秀的重復性
Excellent repeatability in the process pressure range of 1 E-8 ... 1E2 mbar 5%.
- 測量性能不受安裝方向的影響，實現工具設計的最大工程自由度
Measurement performance is independent of mounting orientation for maximum engineering freedom in tool design
訂貨信息
技術參數
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測量范圍 |
1×10-9～1000 mbar（空氣, 氮氣） |
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精確度 |
100～1000 mbar ±50%讀值 1×10-8～100 mbar ±30%讀值 |
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重復性 |
1×10-8～100 mbar ±5%讀值 |
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分辨率 |
1%讀值 |
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電壓范圍（模擬輸出） |
0…+10.5 V |
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電壓測量范圍 |
+1.398...+8.6 V (dc) |
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輸出阻抗 |
2×4.7 Ω，防短路輸出 |
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負載阻抗 |
≥10kΩ，防短路輸出 |
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響應時間 |
>1×10-6 mbar <100 ms 1×10-6… 1×10-8 mbar ≈ 1 s |
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工作溫度 |
+5℃ … +55℃ |
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工作濕度 |
1×10-8… 1×10-2mbar ≤70%（非冷凝） 1×10-7… 1×10-2mbar ≤95%（非冷凝） |
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功耗 |
≤2 W |
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安裝方向 |
僅在室內，海拔高達6000米 |
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允許壓力 |
10bar,僅限于惰性氣體<5℃ |
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燃燒壓力 |
>13bar |
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暴露在真空中的材料 |
不銹鋼、玻璃、陶瓷，鉬鎳合金 |
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保護程度 |
IP40 |
