RBF-530 復合變送器
簡介
該系列產品將皮拉尼技術與陶瓷電容膜片傳感器的優點結合在單一產品中，測量范圍為 5.0 x 10-5～1500mbar。在 30mbar至1500mbar的測量范圍內，電容膜片技術不受氣體類型限制，能夠提供高精度可靠壓力測量值。
The Reborn Pirani Capacitance Diaphragm Gauge (RBF-530) combines the Pirani technology with the advantages of a ceramic capacitance diaphragm sensor in a single product. In the measurement range between 5.0 x 10-5 mbar and 1500mbar the capacitance diaphragm technology provides gas-type independent, highly accurate values for reliable pressure measurement.
優點
- 在 30mbar至大氣壓力下不受氣體類型限制，具有較高測量精度
Gas-type independent above 30 mbar with high measurement accuracy
- 快速的大氣檢測，消除了等待時間并縮短了工藝周期
Fast atmospheric detection – eliminates waiting time and shortens process cycle
- 提供鎢絲或全陶瓷涂層傳感器單元，適合高腐蝕性應用
Available with tungsten or with a fully ceramic coated sensor unit for highly corrosive applications
- 可選的輸出信號，易于集成
Selectable output signal for easy integration
- 可選大氣開關、顯示屏和數字接口等
Optional atmospheric switch, display and digital interfaces
- 測量性能不受安裝方向的影響，實現工具設計的最大工程自由度
Measurement performance is independent of mounting orientation for maximum engineering freedom in tool design
應用范圍：
- 預抽真空室控制
Load lock control
- 真空壓力測量
For vacuum pressure measurement
- 真空系統中的安全電路
Safety circuits in vacuum systems
- 中低真空范圍內的一般真空測量與控制等
General vacuum measurement and control in the medium and rough vacuum range
訂貨信息
技術參數
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測量范圍（空氣, 氮氣） |
5×10-5... 1500mbar |
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精度（氮氣） |
5×10-4 ... 1×10-3mbar ±50% 1×10-3 ... 100mbar ±15% 100 ... 950mbar ±5% 950 ... 1050mbar ±2.5% |
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重復性（氮氣） |
1×10-3 ... 1100mbar ±2% |
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輸出阻抗 |
2×4.7Ω，短路保護（兩條差分線路輸出） |
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負載 |
＞10kΩ |
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響應時間 |
＜30ms |
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電壓范圍 |
（1）0 ... +10.23V （2）0 ... +8.68V （3）0 ... +5.659V （4）0 ... +9.05V（對應4種輸出公式） |
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功耗 |
無現場總線≤2.5W |
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固態繼電器額定觸點值 |
<30V（ac）/（dc），≤0.3A |
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機械繼電器額定觸點值 |
<30V（ac）/（dc），≤1A |
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允許壓力（絕壓） |
≤5bar |
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破裂壓力（絕壓） |
10bar |
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燈絲允許溫度 |
≤160℃ |
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相對濕度 |
年平均≤65% 不凝結，60天內≤85%不凝結 |
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安裝方向 |
任意 |
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入口保護等級 |
IP40 |
