RBL-503C冷陰極變送器
簡介
RBL-503C 倒置磁控管冷陰極傳感器專為需要在 5×10 -3 到 3×10 -10 Torr 范圍內(nèi)的壓力測
量的應(yīng)用而設(shè)計(jì)。它的快速反應(yīng)和廣泛的測量范圍為設(shè)備設(shè)計(jì)者提供了最大的靈活性。該
傳感器可作為控制系統(tǒng)的一部分自動運(yùn)行，適用于多種角色，包括系統(tǒng)監(jiān)控和觸發(fā)警報(bào)。
優(yōu)點(diǎn)
- 由于不同類型氣體的靈敏度差異使其對于檢測真空系統(tǒng)中的泄漏非常有用。
- 采用特殊倒置磁控管結(jié)構(gòu)，更具可重復(fù)性，低壓環(huán)境不影響。
- 傳感器管體幾乎可無限期清洗并使用，維護(hù)更便利。
技術(shù)參數(shù)
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測量范圍 |
3.0 x 10 -10 到5.0 x 10 -3Torr（空氣, 氮?dú)猓?/p> |
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重復(fù)性 |
±5% |
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真空滯回狀態(tài) |
150 mV |
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輸入電源 |
14 至30 VDC, 最大 150 mA |
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內(nèi)部工作電壓 |
高壓最大3KV，短路電流限制在100μA |
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輸出電壓 |
0.5~7.7VDC，對數(shù)線性輸出，30Ω最大 |
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輸出負(fù)載 |
標(biāo)稱100KΩ，最小10KΩ |
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真空連接 |
KF25、KF40 |
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電氣連接 |
9 針“D”型端子 |
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工作溫度 |
0℃to 50℃(32°to 122°F)環(huán)境，室內(nèi)使用，普通防潮 |
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工作濕度 |
0到90% |
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烘烤溫度 |
CF 法蘭單元最大 400°C(752°F);移除電子設(shè)備、電纜和磁鐵 |
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使用海拔 |
最大2000 米(6561 英尺) |
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安裝方向 |
任何方向。但是，要避免將傳感器直接安裝在腔室下方，以防止濺射材料或其他碎片落入傳感器中。 |
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外殼材料 |
鋁合金 |
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暴露在真空中的材料 |
SS304, SS302，鋁，玻璃，Inconel®X-750，氧化鋁陶瓷 |
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重量 |
1.2KG |
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外形尺寸 |
123*76.5*108.5mm |
外形尺寸圖
